Nikon está trabajando en una máquina para litografía digital con resolución de 1 micrón que planea tener lista en el 2026

Canon tiene disponible una máquina para litografía con tecnología por nanoimpresión, con la que quiere complementar a las soluciones que ofrece ASML. Esta máquina ya se ha enviado a algunos clientes, como el Instituto para la Electrónica de Texas. Pero a Canon también le ha salido competencia, ya que Nikon está trabajando en una máquina de litografía digital con una resolución de 1,0 micrones. Esta máquina pretende abaratar costes, así como satisfacer la demanda de los clientes que cada vez demandan productos con encapsulado avanzado y de mayor tamaño.

Para esto, Nikon está desarrollando una máquina de litografía digital que permitirá un área de exposición más grande con alta resolución. Esta máquina contará con un sistema de múltiples lentes FPD que proporcionará mayor productividad. Este sistema de Nikon no utilizará fotomáscaras, ya que consiste en hacer llegar la luz desde la fuente a un modulador de luz espacial, que mostrará un patrón de circuito. Este patrón se transfiere al sustrato gracias a un sistema óptico de proyección. Esto permitirá eliminar las fotomáscaras, ahorrando en costes, y también reduciendo el tiempo necesario para la fabricación de semiconductores.

Se espera que esta nueva máquina para litografía digital esté disponible durante el año 2026, que llegará para ayudar a afrontar la alta demanda generada por los chips para Inteligencia Artificial.

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